真空清洗炉操作流程

2023-01-06 09:53:24

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真空清洗炉的使用主要是用来对工件进行热处理加工的，在购买以后，很多用户因为不会使用，或者使用的流程不对而导致热处理的效果不能达到预期，而且还可能会给设备带了一些损伤问题，那么正确的操作流程是怎样的呢？

1、打开真空炉炉门，装料。关闭炉门并确保炉膛密封完好。

2、检查各手动真空阀门，确保处于关闭状态。

3、送入总电源，控制显示屏亮。

4、打开水冷机电源，在水冷机操作界面上输入需要的水温，启动水冷系统(详见水冷机使用操作说明书)。

5、打开旋片泵上的排气口，确保气体循环。 (旋片泵使用完毕后，封上排气孔，避免杂物进入旋片泵)确保扩散泵、旋片泵阀门处于关闭状态。

6、在触摸屏操作界面上启动旋片泵和扩散泵。

7、缓缓旋转打开旋片泵阀门，避免排气口由于气量过大喷油。

8、待旋片泵、扩散泵运行1小时左右及真空计右侧显示屏上显示小于100Pa后，关闭旋片泵阀门，打开扩散泵阀门。

9、待真空计显示屏上达到需要的真空度后关闭真空泵组后开始升温。(真空泵组关闭流程:先关闭扩散泵阀→停止扩散泵→40分钟后停止旋片泵)也可抽真空过程中加热。

10、在升温操作界面上输入需要的工艺要求，开始加热。

11、待升温程序停止后，（如果是加入过程中抽真空，待真空炉炉膛温度降到适合工艺的温度后，关闭真空泵组，关闭流程同上）扩散泵温度降.到可触碰温度方可关闭水冷机。