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真空清洗炉适用于涤纶、锦纶、丙纶用的喷丝板、异形喷丝板以及组件壳体的清洗，还适用于清洗过滤芯和塑料包装行业的融体过滤器的清洗，采用密封形式，将密封炉膛内抽成真空状态，并有限地供给新鲜空气，使化纤高分子聚合物在低氧气含量的状态下裂解焦化。炉膛内温度始终控制在设定的工艺范围内。清洗的组件表面干净。由于真空炉膛内氧气含量低，避免了工件金相结构的损坏和氧化，能保持工件原有较好的金属光泽。使用单位可根据工艺要求，选择不同的工作程序进行清洗处理。
真空清洗炉是利用化纤高分子聚合物在300℃左右可熔融，高于300℃隔绝空气可裂解焦化，并产生多种裂解物，高于400℃在有少量氧气、相应真空度的条件下可氧化的特性。利用这一特性，先把工件加热到300℃左右，使工件表面上较多的高分子聚合物熔化流入下部的废料收集罐中，工件表面微孔中只剩下少量的高分子聚合物和灰分，这时再将炉温升到400～500℃（温度可根据工艺要求拟定），同时打开真空泵，并通入少量空气，使剩余的高分子聚合物充分氧化，生成二氧化碳和水，通过真空泵将漂浮在炉内的灰分和水蒸汽经水喷淋洗涤器喷淋洗涤后抽出炉外，由水带走，整个工作过程没有污染气体、烟雾和灰分排在室内。
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